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压电多轴组合及整体式位移台
压电马达驱动,断电自锁,节约能量,减少热量产生,8毫米行程,简洁紧凑型设计,光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达10nm,重复定位精度可达+/-50nm,可应用于光学组装,微纳加工,激光,自动化等领域